Описание:

Фронтальный однокристальный датчик INFICON обеспечивает подтверждённые испытаниями надёжность и долговечность, а также имеет наилучшую тепловую стабильность по сравнению с любой другой головкой датчика, имеющейся на рынке. Конструкция с фронтальной установкой обеспечивает лёгкую установку держателя кристалла в тех приложениях, где недостаточно пространства для установки сбоку. Соединения деталей конструкции в основном механические, а не паяные, поэтому детали без труда можно заменить на месте эксплуатации при необходимости. Датчики можно заказывать отдельно или в комбинации с вакуумным вводом, присоединение которого может быть сварным или с помощью обжимного фитинга.

 

 

Конфигурации датчика

Изготавливаются датчики двух конфигураций: стандартная и прямоугольная (компактная) модели. Стандартная модель предназначена для установки сбоку или снизу камеры, в которой охлаждающие трубки расположены параллельно грани кристалла. Прямоугольная модель предназначена для установки сверху вакуумной камеры, в которой трубки с охлаждающей водой расположены перпендикулярно грани кристалла. По выбору, можно заказать датчики с затвором кристалла с пневматическим приводом для защиты кристалла во время нагрева источника, когда он не используется во время напыления другого материала или для продления срока службы кристалла с помощью RateWatcher™. Затвор сконструирован так, чтобы откидываться вниз, облегчая замену кристалла.
Подвергающийся воздействию электрод кристалла полностью заземлён для эффективного предотвращения возможных проблем из-за электромагнитных помех.

 

 

Вакуумные вводы

Предлагаем вакуумные вводы двух типов: с 1-дюймовым резьбовым соединением или 2 ¾-дюймовым (CF40) фланцем ConFlat®. Можно заказать вакуумные вводы с фланцем KF40.

 

 

Присоединение вакуумного ввода

Фронтальные однокристальные датчики можно заказать в комбинации с вакуумным вводом. Соединение вакуумного ввода с датчиком может быть сварным или выполнено с помощью обжимного фитинга. Обжимные фитинги облегчают регулировку, не требуя пайки и сварки. Вакуумный ввод можно смещать вдоль трубок, что позволяет регулировать длину внутри вакуумной системы в диапазоне 20,3-71,1 см для датчиков с обозначением «Е» для диапазона длины и в диапазоне 20,3-121,9 см для датчиков с обозначением «G» для диапазона длины. После определения нужной длины, обжимные фитинги позволяют выполнить герметичное присоединение усилием от руки. Другим вариантом присоединения может быть сварное соединение. Если требуется сварное соединение, обращайтесь к специалистам "ЭмЭсЭйч Техно".

 

Преимущества

• Держатель кристалла с фронтальной установкой
• Простая установка
• Варианты вакуумного ввода:
• 1-дюймовое резьбовое соединение
• Фланец CF40
• Регулируемая длина при заказе с обжимными фитингами
• Комбинации вакуумного ввода с датчиком со сварным соединением, согласно спецификации длины, указанной заказчиком
• При заказе с обжимными фитингами или сварным соединением вакуумного ввода никакой пайки не требуется

 

 

Информация для заказа

Фронтальный однокристальный датчик (с кабелями для вакуума)

Для заказа Вам нужно составить код, вставив в формулу вместо букв a , b, c, d, e нужные цифры.

 

S

L

-

a

b

c

d

e

 

a	Тип датчика (включает кабель для вакуума, выталкиватель кристалла и руководство пользователя. Кристаллы приобретают отдельно) стандартный датчик (трубки с водой параллельны грани) – A прямоугольный датчик (трубки с водой перпендикулярны грани) - B
b	Затворный узел – см. примечание 4 Нет - 0; стандартный затвор - 1
с	Длина датчика – см. примечания 1 и 3 стандартная длина: 203-711 мм. В комплекте кабель для вакуума 781 мм. см. примечание 6 – E удлинённый вариант: больше 711 мм; макс. 1219 мм. В комплекте кабель для вакуума 781 мм. см. примечание 6 - G
d	Вакуумный ввод – см. примечание 2 Нет – 0; 1-дюймовое резьбовое соединение – 3; CF40 - 4
e	Присоединение вакуумного ввода – см. примечание 4 датчик не соединён с вакуумным вводом 0; сварное соединение датчика с вакуумным вводом -7; Регулируемая длина с обжимными фитингами Ultra-Torr®. (Возможность регулирования длины датчика, используя обжимные фитинги Ultra-Torr®) - 8

Не поставляются (см. примечания 4 и 5) следующие комбинации: SL-A1E38, SL-A1G38, SL-B1E38, SL-B1G38, SL-A1E47, SL-A1G47, SL-B1E47,SL-B1G47. Возможна поставка компонентов по заказу, с особыми изгибами и другие нестандартные компоненты – обращайтесь к изготовителю.

Примечание 1:
Заказы на датчики со сварным соединением с вакуумным вводом принимаются только при условии получения компанией INFICON чертежа с указанием размеров, подписанного заказчиком. После подтверждения особой длины или запуска заказа в производство, заказ отменить нельзя. Компания INFICON предоставляет форму спецификации длины датчика.
Примечание 2:
Конфигурация вакуумного ввода меняется в зависимости от выбранных вариантов (с затвором или без, тип вакуумного ввода и т. д.). Пример. SL-A0E37 использует вакуумный ввод, номер для заказа 002-042, а SL-A1E37 использует вакуумный ввод, номер для заказа 750-030-G1.
Примечание 3:
Длина датчика измеряется от центра кристалла до уплотняющей поверхности вакуумного ввода со стороны вакуума (см. чертёж).
Примечание 4:
При заказе датчиков с затворами и вакуумным вводом с 1-дюймовым резьбовым соединением, соединение может быть только сварным (с обжимными фитингами не изготавливаются).
Примечание 5:
При заказе датчиков с фронтальной установкой в комбинации с вакуумным вводом с фланцем CF40 и затвором, соединение не может быть сварным из-за пространственных ограничений фланца CF40.
Примечание 6:
При заказе датчиков без сварного присоединения (вариант «0» или «8» заказа), трубки изготавливаются длиной 762 мм для диапазона длины «Е» и 1219 мм для диапазона длины «G» датчиков. Использование кабеля длиной 1524 мм может потребовать применение специального генератора.

 

 

Технические характеристики

Стандартный однокристальный датчик серии SL-A

 

Макс. температура прогрева без водяного охлаждения	130 °C
Макс. температура рабочей изотермической среды при минимальном расходе охлаждающей воды	400 °C

Размер SL-A (макс. огибающая без затвора)	27 мм х 61,47 мм х 17,53 см
Трубка для воды	наружный диаметр 3,175 мм, бесшовная из нержавеющей стали
Замена кристалла	фронтальная установка; моноблочная конструкция для облегчения замены
Установка	два #4-40 резьбовых отверстия на задней стороне корпуса датчика

 

 

Требования установки

 

Вакуумный ввод	2 проходных фитинга для присоединения трубки подачи воды с наружным диаметром 4,8 мм и коаксиальным соединителем Microdot®
Расход воды	мин. расход воды 150-200 куб.см./мин. при температуре не более 30 °C (не допускать замерзания)
Качество воды	хладагент не должен содержать хлориды поскольку может возникнуть коррозионное растрескивание. Сильно загрязнённая вода может уменьшить охлаждающую способность

 

 

Материалы

 

Корпус и держатель	Нержавеющая сталь типа 304
Пружины, электрические контакты	Позолоченный сплав бериллия и меди
Трубки для воды	Бесшовная трубка из нержавеющей стали 304 с наружным диаметром 3,175 мм и толщиной стенки 0,381 мм
Соединитель (Microdot)	Нержавеющая сталь, покрытие Teflon® или стекло
Провод	Медь, покрытая тефлоном
Изоляторы	> 99 % Al2O3
Твёрдый припой	Жаропрочный сплав Ni-Cr для работы в вакууме
Кристалл	Диаметр 13,97 мм

 

 

Прямоугольный однокристальный датчик серии SL-В

Макс. температура прогрева без водяного охлаждения	130 °C
Макс. температура рабочей изотермической среды при минимальном расходе охлаждающей воды	400 °C

Размер SL-B	1.11" x 1.06" x 1.06"
(макс. огибающая без затвора)	28,19 х 26,92 х 26,92 мм
Трубка для воды	Наружный диаметр 3,175 мм, бесшовная из нержавеющей стали
Замена кристалла	Фронтальная установка; моноблочная конструкция для облегчения замены
Установка	Два #4-40 резьбовых отверстия на задней стороне корпуса датчика

 

 

Требования установки

 

Вакуумный ввод	2 проходных фитинга для присоединения трубки подачи воды с наружным диаметром 4,8 мм и коаксиальным соединителем Microdot®
Прочее	Генератор или XIU, подходящий для конкретного контроллера, клапанный блок 750-420-G1 для датчиков с затвором
Расход воды	Мин. расход воды 150-200 куб.см./мин., температура не более 30 °C
Качество воды	Хладагент не должен содержать хлориды, поскольку может возникнуть коррозионное растрескивание. Сильно загрязнённая вода может уменьшить охлаждающую способность

 

 

Материалы

 

Корпус и держатель	Нержавеющая сталь типа 304
Пружины, электрические контакты	Позолоченный сплав бериллия и меди
Трубки для воды	Бесшовная трубка из нержавеющей стали 304 с наружным диаметром 3,175 мм и толщиной стенки 0,381 мм
Соединитель (Microdot)	Нержавеющая сталь, покрытие Teflon® или стекло
Изоляторы	> 99 % Al2O3
Провод	Медь, покрытая тефлоном
Твёрдый припой	Жаропрочный сплав Ni-Cr для работы в вакууме
Кристалл	Диаметр 13,97 мм

 

 

Технические характеристики вакуумного ввода

Примечание. Технические характеристики комбинации вакуумного ввода с датчиком определяются худшими характеристиками каждого компонента.

Соединительная часть под обжимной фитинг или 1-дюймовое резьбовое соединение:

 

Материалы	Нержавеющая сталь 304, Teflon®, керамика, никель-бериллий, VITON®
Температура	Температура рабочей среды до 300 °C с водяным охлаждением или до 165 °C без охлаждения
Установка	Диаметр отверстия 1,015" ± 0,010"

 

 

Соединительная часть под приваренный фланец CF 40

 

Материалы	Нержавеющая сталь 304, Teflon®, керамика, никель-бериллий
Температура	Температура рабочей среды до 450°C с водяным охлаждением или до 165 °C без охлаждения
Установка	Под фланцы 2 ¾ типа ConFlat с мин. внутренним диаметром 1,375"

 

 

Список запасных частей

 

007-007	Пружинный замок (для держателя кристалла)
007-023	Керамический держатель
007-044	Кабель для вакуума, 78,1 см
080-018	Установочный винт (для коаксиального соединителя розеточного типа)
082-044	Тефлоновый винт (для плоской пружины)
750-115-P4	Муфта (для сильфонного узла)
750-169-P2	Сильфонный узел (без муфты)
750-171-P1	Кнопочный пружинный контакт
321-039-G13	Кабель для вакуума, 154,2 см
750-172-G1	Держатель кристалла (с пружинным замком)
750-174-P2	Коаксиальный соединитель розеточного типа
750-175-P1	Изолятор (под плоской пружиной)
750-188-P2	Плоская пружина
750-210-G1	Блок затвора (сильфонный узел, шток в сборе и затворный узел)
750-215-G1	Шток в сборе (часть блока затвора)
750-216-G1	Затворный узел (часть блока затвора)

 

 

Габаритные размеры

Стандартный однокристальный датчик серии SL-A_E (только датчик)

 

Прямоугольный однокристальный датчик серии SL-B_E__ (только датчик)

 

 

Вакуумный ввод, используемый в следующих комбинациях с датчиками: SL-A0_47, SL-A0_40, SL-B0_47 и SL-B0_40

 

 

Вакуумный ввод, используемый в следующих комбинациях с датчиками: SL-A1_40 и SL-B1_40

 

 

Вакуумный ввод, используемый в следующих комбинациях с датчиками: SL-A0_48 и SL-B0_48

 

 

Вакуумный ввод, используемый в следующих комбинациях с датчиками: SL-A1_48 и SL-B1_48

 

 

Вакуумный ввод, используемый в следующих комбинациях с датчиками: SL-A0_37, SL-B0_37, SL-A0_30 и SL-B0_30

Вакуумный ввод, используемый в следующих комбинациях с датчиками: SL-A0_38 и SL-B0_38

Вакуумный ввод, используемый в следующих комбинациях с датчиками: SL-A1_37, SL-B1_37, SL-A1_30 и SL-B1_30

 

 

Спецификация длины датчика SL-A_ _ _ _, используемого в комбинациях с вакуумным вводом

Спецификация длины датчика SL-B_ _ _ _, используемого в комбинациях с вакуумным вводом