Характеристики и описание
- Производитель
- Страна производительШвейцария
Описание:
Датчик на 12 кристаллах компании INFICON специально сконструирован для длительных
технологических процессов, требующих непрерывного контроля скорости напыления. В OLED- и MBE-приложениях, при производстве солнечных панелей или в других техпроцессах с длительным интервалом между вентиляциями камеры, датчик Crystal 12 обеспечивает высокую надёжность за счёт 12 кварцевых кристаллов, установленных в одной головке измерительного датчика.
При использовании с Cygnus®, XTC/3M, XTC/3S, SQC310 или SQC310C датчик на 12 кристаллах автоматически поворачивает новый кристалл в рабочую позицию в случае повреждения или нестабильной работы кристалла. Кристаллы автоматически переключаются, не прерывая процесс непрерывного контроля скорости напыления. Чтобы свести к минимуму время простоя, кристаллы можно вставить во вторую дополнительную карусель, которую затем без труда можно быстро установить вместо карусели с использованными кристаллами – это сокращает время пребывания системы под атмосферным давлением.
Механизм с пневматическим приводом осуществляет периодическую круговую подачу кристаллов. Этот пневмодвигатель обеспечивает более высокую тепловую стабильность по сравнению с модулями конкурентов, в которых используются дорогие электродвигатели для работы в условиях вакуума, выделяющие тепло. Трубки для воды диаметром 1/8 дюйма поддерживают стабильную температуру головки датчика и не ограничивают возможность выбора местоположения датчика.
Преимущества
- Вмещает 12 кристаллов с надёжным автоматическим механизмом переключения для сведения к минимуму времени простоя
- Легко извлекаемая карусель обеспечивает быструю замену всех 12 кристаллов
- Стабильная температура кристалла, благодаря использованию пневматического механизма переключения кристаллов (модули конкурентов используют электродвигатели, выделяющие тепло)
- ¼-дюймовые трубки для воды поддерживают стабильную температуру и не ограничивают возможность выбора местоположения датчика
- Легкоснимаемый передний антинапылительный экран защищает кристалл и карусель от осаждения напыляемого материала, что сводит к минимуму необходимость извлекать датчик целиком для техобслуживания
- Пользователь может адаптировать дополнительный монтажный опорный комплект под метрическое оборудование
- Дополнительно можно заказать затвор кристалла
Информация для заказа
Для заказа Вам нужно составить код, вставив в формулу вместо букв a , b, c, d, e, f нужные цифры.
|
X
|
L
|
1
|
2
|
-
|
a
|
b
|
c
|
d
|
e
|
f
|
|
a
|
Тип датчика (Руководство по эксплуатации в комплекте. Кристаллы приобретают отдельно)
|
|
b
|
Длина кабеля для вакуума в сборе:
|
|
c
|
Карусель для кристаллов в сборе
|
|
d
|
Передний антинапылительный экран
|
|
e
|
Монтажная опора с оборудованием
|
|
f
|
Пневматический клапан: Нет - 0; Да - 1
|
Возможна поставка компонентов по заказу, с особыми изгибами и другие нестандартные компоненты – обращайтесь к нашим специалистам.
Примечание 1:
Автоматический переключатель кристаллов только в комплекте с IC6, Cygnus, XTC/3M, XTC/3S, SQC310 и SQC310C
Примечание 2:
Для датчика на 12 кристаллах требуется пневматический клапан управления 750-420-G1
Примечание 3:
При использовании IC6, Cygnus, XTC/3M и XTC/3S возможна любая длина. SQC310 и SQC310C поддерживают глубину ввода в вакуумную камеру только до 30,75 дюйма.
Примечание 4:
SQC-310 и SQC-310C не поддерживают обратную связь по положению.
Технические характеристики
Технические характеристики датчика на 12 кристаллах серии XL12
|
Макс. температура прогрева без водяного охлаждения
|
130°C
|
|
Макс. температура рабочей изотермической среды при минимальном расходе охлаждающей воды
|
300°C
|
|
Размер (макс. огибающая)
|
Диам. 102 мм x 84 мм высота С установленными дополнительными монтажными опорами: диам. 121 мм x 88 мм высота
|
|
Длина трубок для воды или воздуха |
762 мм в стандартном исполнении
|
|
Замена кристалла
|
С передней стороны
|
|
Установка
|
Шесть #4-40 резьбовых отверстия на задней стороне корпуса датчика, шесть #4-40 резьбовых отверстия по длине наружной окружности. Три #6-32 резьбовых отверстия с дополнительным монтажным комплектом
|
Требования установки
|
Вакуумный ввод
|
Кол-во (1) 2 ¾-дюймовый фланец ConFlat® с двумя коаксиальными вакуумными вводами, 2 проходных фитинга для присоединения трубок подачи воды и один для трубки для воздуха, IPN 002-080, или
|
|
Прочее
|
Пользователь обеспечивает монтажную конструкцию, рассчитанную на массу датчика на 12 кристаллах и облегчающую процедуру извлечения и замены, сохраняя неизменным положение установки. Для этой цели можно приобрести дополнительный монтажный опорный комплект, IPN 750-670-G1. Пользователь обеспечивает вакуумплотные паяные соединения или фитинги для трубок для воды или воздуха. Клапанный блок для воздуха (не входит в комплект), IPN 750-420-G1, с ограничительной диафрагмой 0,022 дюйма, устанавливаемой пользователем. (Диафрагма входит к комплект принадлежностей датчика на 12 кристаллах) XIU или генератор сконструированы для взаимодействия с контроллером Cygnus
|
|
Коммуникации
|
Мин. расход воды 150-200 куб.см./мин. при температуре не более 30 °C (не допускать замерзания). хладагент не должен содержать хлориды поскольку может возникнуть коррозионное растрескивание. Регулируемая подача воздуха: 80-90 psig (5,5-6,2 бар) [550-620 кПа]. Макс. длина 2 м трубки 1/8 дюйма между сильфонным узлом и клапаном управления
|
Материалы
|
Пластина, антинапылительный экран, механические части, корпус и карусель
|
Нержавеющая сталь типа 304
|
|
Пружины, электрические контакты
|
Позолоченный сплав бериллия и меди, позолоченная нержавеющая сталь 302
|
|
Трубки для воды или воздуха
|
Бесшовная трубка из нержавеющей стали 304 с наружным диаметром 3,2 мм и толщиной стенки 0,4 мм длиной 762 мм
|
|
Соединитель
|
Нержавеющая сталь 304
|
|
Изоляторы
|
Teflon, Peek®
|
|
Кабель
|
Омеднённая сталь, покрытая тефлоном
|
|
Кристалл
|
Диаметр 13,97 мм
|
Технические характеристики вакуумного ввода
Примечание. Технические характеристики комбинации вакуумного ввода с датчиком определяются худшими характеристиками каждого компонента.
Cоединительная часть под обжимной фитинг или 1-дюймовое резьбовое соединение:
|
Материалы
|
Нержавеющая сталь 304, Teflon®, керамика, никель-бериллий, VITON®
|
|
Температура
|
Температура рабочей среды до 300 °C с водяным охлаждением или до 165 °C без охлаждения
|
|
Установка
|
Диаметр отверстия 1,015" ± 0,010"
|
Cоединительная часть под приваренный фланец CF 40
|
Материалы
|
Hержавеющая сталь 304, Teflon®, керамика, никель-бериллий
|
|
Температура
|
Tемпература рабочей среды до 450°C с водяным охлаждением или до 165 °C без охлаждения
|
|
Установка
|
Под фланцы 2 ?-дюйма типа ConFlat с мин. внутренним диаметром 1,375 дюйма
|
Список запасных частей
|
Номер для заказа
|
Описание
|
|
750-276-P3
|
Крышка исполнительного механизма
|
|
750-644-G1
|
Корпус
|
|
750-658-G1
|
Антинапылительный экран
|
|
750-286-P2
|
Пневматический привод
|
|
750-291-P1
|
Фиксатор
|
|
750-294-P2
|
Собачка
|
|
750-293-P2
|
Храповый механизм
|
|
750-256-P2
|
Пружина растяжения
|
|
750-252-P2
|
Стойка пружины
|
|
750-649-G1
|
Электрический соединитель
|
|
750-295-G1
|
Защёлка и привод
|
|
750-258-P2
|
Вал подшипника
|
|
070-779
|
Шарикоподшипник
|
|
750-652-G1
|
Карусель
|
|
750-650-P1
|
Диафрагма (без установочного штифта)
|
|
070-1253
|
Установочный штифт
|
|
750-651-P1
|
Опора резисторной сборки
|
|
750-655-P1
|
Изолятор резисторной сборки
|
|
750-642-G1
|
Резисторная сборка
|
|
750-661-P1
|
Соединительный контакт (деталь карусели)
|
|
750-656-P1
|
Изолятор кристалла (деталь карусели)
|
|
321-038-P6
|
Плоская пружина (деталь карусели)
|
|
750-657-P1
|
Заземляющая плоская пружина
|
|
750-671-P1
|
Пружина кручения
|
|
750-626-P1
|
Пружина
|
|
750-647-P1
|
Шпиндель
|
|
070-1268
|
Подшипник шпинделя (деталь шпинделя)
|
|
070-1254
|
Эластомерное кольцо (деталь шпинделя)
|
|
750-660-P1
|
Центрирующий винт (деталь шпинделя)
|
|
007-126
|
бесшовная трубка 3,175 мм х 762 мм
|
|
070-201
|
#4 пружинная разрезная шайба
|
|
084-004
|
Винт с головкой под шестигранный торцевой ключ #4-40 x 0,187
|
|
070-398
|
Упорное кольцо
|
|
070-867
|
Прокладка вала
|
|
070-170
|
#2 пружинная разрезная шайба
|
|
070-177
|
Винт с головкой под шестигранный торцевой ключ #4-40 x 3,12
|
|
080-038
|
Винт со шлицем «Филлипс» #0-80 x 0,375
|
|
082-032
|
#2 внутренняя пружинная шайба
|
|
082-045
|
Винт со шлицем «Филлипс» #2-56 x 0,187
|
|
084-054
|
#4 пружинная разрезная шайба
|
|
082-022
|
#2 плоская шайба |
|
082-024
|
Винт с головкой под шестигранный торцевой ключ #2-56 x 0,250
|
|
082-032
|
#2 внутренняя пружинная шайба
|
|
750-292-P2
|
Прокладка фиксатора
|
|
080-013
|
#0-80 разрезная шайба
|
|
080-007-P1
|
#0-80 х 0,17 плоская шайба
|
|
080-009-P1
|
Винт с головкой под торцевой ключ #0-80 x 0,188
|
|
084-048
|
Винт с плоской головкой #4-40 x 0,250
|
|
750-665-P1
|
Винт с буртиком пружины кручения #2-56
|
|
070-170
|
#2 пружинная разрезная шайба
|
|
082-045
|
Винт со шлицем «Филлипс» #2-56 x 0,187
|
|
070-201
|
#4 пружинная разрезная шайба
|
|
084-093
|
Винт с головкой под торцевой ключ #4-40 x 1,125
|
|
086-084-P2
|
Установочный винт #6-32 x 0,125
|
|
086-041 |
#6 плоская шайба |
|
086-038
|
#6 пружинная разрезная шайба
|
|
086-036
|
Винт с головкой под торцевой ключ #6-32 x 3/8
|
|
086-084-P2
|
Установочный винт #6-32 x 0,125
|
Габаритные размеры:
Датчик на 12 кристаллах серии XL12
Датчик на 12 кристаллах можно использовать со следующими вакуумными вводами:
Доставка
Оплата и гарантии