Описание:
150/200-мм система для оптического контроля и анализа фронтальной и тыльной сторон пластины. Наиболее подходит для использования с технологиями МЭМС
Основные возможности:
- Усовершенствованный инструмент для оптического осмотра и анализа пластин 150/200 мм с двумя кассетами.
- Подходит для стандартных и других механических интерфейсов.
- Доступны конфигурации системы для работы только с фронтальной или с фронтальной/тыльной сторонами.
- Встроенный модуль переворачивания пластин обеспечивает высокую производительность.
- Возможность работы с пластинами в вакуумном захвате или в захвате по бокам.
- Вакуумный держатель для пластин сочетает в себе доступную цену с высокой производительностью и универсальностью.
- Манипуляции с пластинами, в том числе предварительное совмещение, производятся в захвате по бокам, чтобы минимизировать постороннее воздействие на тыльную сторону устройства.
- Функция сортировки с возможностью переворачивания на тыльную сторону.
- Новейший оптический микроскоп фирмы Carl Zeiss поддерживает все стандартные методы контрастирования, в том числе конфокальную и ультрафиолетовую микроскопию.
- Макро-осмотр с равномерным полем освещенности и возможностью осмотра пластины в темном поле. Обнаруженные дефекты документируются.
- Доступны различные виды измерений, в том числе контроль отклонения от заданных параметров и измерение толщины пленки.
- Единая программная платформа для всех систем и модификаций.