Ручные зондовые станции для выполнения измерений высокой мощности компании MPI.
Станции для устройств высокой мощности компании MPI предназначены для тестирования устройств высокой мощности на полупроводниковой пластине. Зондовые станции TS150-HP и TS200-HP компании MPI обеспечивают реализацию технического решения для измерений на пластине с расстоянием до 150 мм и 200 мм. Они позволяют успешно выполнять измерения низкого контактного сопротивления мощных полупроводниковых устройств в широком температурном диапазоне.
10 кВ – 600 А
Станции для получения характеристик устройств высокой мощности компании MPI предназначены для выполнения тестирования устройств высокой мощности на полупроводниковой пластине. Данные станции поддерживают прецизионное измерение 3 кВ триаксиальными / 10 кВ коаксиальными держателями и 600 A (импульсное) измерение, одновременно обеспечивая защищенную тестовую среду с низким уровнем шума.
Решения
Технические решения компании MPI для зондовых станций для выполнения измерений высокой мощности состоят в применении специальных сильноточных зондов высокого напряжения, которые используют патентованные многоконтактные наконечники для уменьшения контактного сопротивления. Зонды высокого напряжения компании MPI обеспечивают измерения с низким током утечки во время проведения электрических испытаний с триаксиальными 3 кВ или 5 и 10 кВ коаксиальными держателями.
Патентованные соединители для триаксиальных держателей
Патентованные триаксиальные соединители компании MPI предлагают удобное изменение конфигурации между 3 кВ триаксиальной и 10 кВ коаксиальной с низким уровнем шума конструкциями без изменения подключения держателя.
Держатели высокой мощности
В составе станций высокой мощности имеется светоизоляционный корпус или световой занавес для защиты от инфракрасного лазера с системой блокировки для обеспечения безопасности среды измерения.
Платформа зондовой станции MPI / Свойства, функции |
Ручная станция для пластин размером до 150 и 200 мм |
|
TS 150-HP |
TS 200-HP |
|
Температурный диапазон |
20о С … 300о С |
-60о С … 300о С |
Держатели комнатной температуры |
3 кВ триаксиальные и 10 кВ коаксиальные |
3 кВ триаксиальные и 10 кВ коаксиальные |
3 кВ триаксиальные и 10 кВ коаксиальные держатели |
• |
• |
Диапазон значений токов 600 А (импульсный) |
• |
• |
Защита от электромагнитного излучения и система безопасной блокировки |
Светоизоляционный корпус |
Световой занавес ShieldEnvironmentTM |
Проб-карта с защитой от образования дугового разряда |
о |
- |
Подставка держателя с защитой от образования дугового разряда |
• |
- |
Универсальные соединители держателей, 3 кВ триаксиальные / 10 кВ коаксиальные |
• |
• |
Защита от дугового разряда (ArcShieldTM) |
• |
• |
• - рекомендовано
о - в наличии
Платформа на пневматических подшипниках
Коаксиальные держатели пластин 10 кВ и триаксиальные держатели пластин 3 кВ
Зонды высокого напряжения / сильного тока (HV/HC)
Безопасность и точность
Держатель пластинTS150-HP для измерения высокой мощности оборудован дополнительным верхним поддоном с электрическими соединениями для подмагничивания. Поддон предназначен для сохранения фторированной жидкости для рентабельных дугогасительных решений.